| SVC-700LEB/3G | SVC-700LEB/4G |
蒸着方式 | 電子ビーム方式 |
E-GUN | 2kW 3连式 | 5kW 4连式 |
EB电源 | -4kV×500mA (Max) | -10kV×500mA (Max) |
抵抗加熱蒸着 | 选择 |
チャンバー | φ400mm×D400mm (SUS制・圆筒型) |
真空泵 | TMP：260l/sec(@N2) RP：100l/min |
到达压力 | 10-4 Pa台 |
圧力测定 | ピラニー真空計/电离真空计 |
尺寸・重量 | 本体：W744/D595/H1371mm 約230kg(RP別置)
控制盘：W570/D800/H1750mm 約115㎏
※本体控制盘的高度以及重量根据构造变动
|
所要電源 | 单相100V 50/60Hz 5kVA | 单相100V 50/60Hz 3kVA
三相200V 50/60Hz 10kVA |
选项：
波束扫描
抵抗加热源单元（淀积电源：SVC - 7 PS 80必要）
基板加热单元（300℃/ 600℃/ 1000℃）类型
基板旋转装置
基板冷却单元
基板旋转倾斜单位
水晶振动子式膜厚监视器
气体导入
外部导入端子