蒸着方式 | 电子束系统 |
E-GUN | 2kW 单GUN |
EB電源 | -4kV×500mA (Max) |
抵抗加熱用蒸着电源 | 12V45A/7V80A (选项) |
抵抗加熱用电极 | 2组 (选项) |
ベルジャー | φ160mm×H225mm (玻璃制・附带保护套) |
到达压力 | 10-4 Pa台 |
真空泵 | TMP：67l/sec(@N2) RP：20l/min |
圧力测定 | ピラニー真空計/电离真空计(选项) |
尺寸・重量 | 本体： W340/D460/H577mm 約75kg(RP別置)
控制盘：W570/D800/H1428mm 約115㎏
※本体/控制盘的高度及重量，根据构成变动
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所要电源 | 単相100V 50/60Hz 5kVA |
选择项：
波束扫描
抵抗加热源单元（淀积电源：SVC - 7 PS 80必要）
基板加热单元（300℃/ 600℃）类型
基板冷却单元
基板旋转倾斜单元
不锈钢钟形罩
电离真空计
ピラニー真空计
水晶振动子式膜厚监视器
气体导入
外部导入端子