品牌：SANYU电子
名称：抵抗加热型真空镀膜装置
型号：SVC-700（DP类型）
特点：
真空镀膜的基本塞住模型
包装装置作为必要的最低限度的功能。
同时，根据DP类型开关阀门OPEN / CLOSE简单操作
丰富的选择，满足将来的功能。
用途：
各种设备的电极膜
反射膜制用途（铝蒸发等）
电子显微镜样品
碳膜制用途等
蒸着方式
抵抗加熱方式
蒸着电源
12V50A / 7V80A (切換式)
蒸着用电极
2組
排气系
DP: 200L/sec RP: 20L/minTMP: 67L/sec(@N2) RP: 20L/min (选项)
到达压力
10-4Pa 台
电铃
内径φ160mm×H225mm ((玻璃制・附带保护套)
尺寸 (W/D/H)
600/400/800mm
重量
約 40kg
所要电源
単相100V 50/60Hz 10A (3Pプラグ)
2L/min 20℃±5℃ 0.2MPa × 1系统
选项：
电离真空计
ピラニー真空计
水晶振动子式膜厚监视器
基板加热单元（300℃/ 600℃的类型）
基板冷却单元
基板旋转倾斜单位
碳蒸发用闪光灯电源
EB淀积单元（单- Gun）
有机质蒸发用电源
φ160毫米不锈钢制钟形
φ230毫米不锈钢制钟形
气体导入装置
外部导入端子
液体氮气圈闭（排气用）
粤公网安备 44030502001236号