激光式晶圆表面缺陷检测装置Laser Explorer
显微镜式晶圆表面缺陷检测装置K-IM-G100
带缺陷检测功能的薄膜表面缺陷检测装置K-LE-G200
硬盘表面缺陷检测装置DSIS-2015
显微镜式晶圆表面缺陷检测装置K-IM-G100特点：
基于独自图像处理技术的缺陷提取与辨别功能
在观察缺陷的同时实现高精度标记
针对其他设备检测的晶圆，可基于缺陷坐标进行观察，并创建缺陷图集。
功能：搭载微分干涉显微镜的表面缺陷检测装置，适用于透明材料。该装置能够输出全面检测的缺陷图谱，并对检测到的缺陷进行显微镜观察。