空气压力控制式主动减震系统
MAPS系列
MAPS-008,MAPS-016,MAPS-033,MAPS-065,MAPS-130,MAPS-240
MRZ系列
MRZ-120,MRZ-200,MRZ-330,MRZ-520
MRZ系列特点：
6自由度主动控制。垂直・水平的空气压力执行器集成的单元类型。被动减振难以消除的频段振动也能消除。
在活动状态下进行FB+FloorFF控制。
FB:反馈控制系统
FloorFF:地板振动前馈控制系统
StageFF:舞台前馈控制系统
实现了装置的轻量化、小型化、降低消耗电力和低价。
主要用途：
FPD・半导体制造装置、电子显微镜・真空相关装置、测量设备、超精密加工设备等。