桌上型主动式减震系统ME-0405,ME-0506
桌上型主动式减震系统ME系列概要：
是一个具有6自由度主动控制的桌面型减振系统。
实时监测搭载板的振动，并通过内置的执行器施加反相力进行振动控制。
进行三维（六自由度）控制。
用途：
显微镜系统
計測・計量機器
纳米表面分析
特点：
6自由度主动控制。搭載板的振动进行实时监控，并通过内置的执行器施加反相力进行振动控制。进行三维（六自由度）控制。
活性控制所需的增益调整通过明立精机的原创控制系统自动优化。
不受搭载物左右的减震性能。通过检查装置结构，现在即使是像小型SPM这样的轻量载荷也能在不降低减振性能的情况下使用。